Dusík, běžný plyn při výrobě čipů

Dusík, běžný plyn při výrobě čipů

• Dusík, běžný plyn při výrobě čipů
• Dusík je široce používán při výrobě čipů, takže znalost jeho použití a aplikací je zásadní.
• I. Fyzikální vlastnosti dusíku: Chemická značka: N2
• Molekulová hmotnost: 28,01 (obecně považováno za 28)
• Měrná hmotnost: 0,967
• Bod varu: -195,8 stupňů (obecně považováno za -196 stupňů)
• Vzhled: Bezbarvý a bez zápachu
• Hořlavost: Nehořlavé-
• Bezpečnost: Čistě dusivé a netoxické-, obecně nepředstavuje žádné riziko. Vysoké koncentrace však mohou způsobit zadušení v důsledku nedostatku kyslíku. Dávejte pozor na netěsnosti a zajistěte dostatečné větrání.
• Reaktivita: Velmi stabilní, téměř nereaktivní. Bude však reagovat při vysokých teplotách nebo vysokých teplotách a vysokých tlacích za vzniku nitridů.
• Použitelné materiály: Není-korozivní pro kovy a lze jej použít na všechny kovy. Při zkapalňování dusíku by se však měly volit materiály, které nejsou křehké při nízkých teplotách. Použitelné jsou téměř všechny materiály, jako jsou plasty, pryž atd.

 

II. Využití dusíku

(1). Výroba dusíku: Dusík lze extrahovat pomocí zařízení na separaci vzduchu. Lze jej snadno vyrábět ve velkém množství a levně podle čistoty požadované továrnou a dodávat potrubím.

(2). Použití dusíku: Čisticí dusík lze použít k čištění nečistot a nečistot uvnitř i vně polovodičových zařízení. Čištění může využít silné působení proudu vzduchu k rychlému vyčištění zařízení a snížení poškození zařízení. Ochrana Během výroby a přepravy polovodičových součástek je třeba chránit materiály v nich. Dusík jako inertní plyn může hrát ochrannou roli. Během balení a přepravy se k utěsnění zařízení používá dusík, aby se zabránilo nepříznivým účinkům, jako je oxidace a koroze. Pro sušení materiálů lze použít suchý dusík. Během procesu sušení dusík odstraňuje povrchovou a vnitřní vlhkost nuceným prouděním vzduchu. Běžně se používá při výrobě mikroelektroniky, optických zařízení a práškových laků.

 

Při výrobě polovodičových součástek lze dusík použít jako oxidant pro povrchové oxidační úpravy.

Dusík může díky své stabilitě a dostupnosti zachovat jednotnost povrchu zařízení a zároveň zvýšit účinnost oxidace a vyhnout se nepříznivým účinkům kyslíku.

 

Purge se používá k čištění zařízení a plynovodů. Při provádění údržby na zařízení používajícím toxické plyny se místo prudkého otevření komory provede proplach dusíkem. Práce se pak provádějí až po zajištění bezpečnosti.

 

Pořadí proplachování plynovodu je: skutečný plyn → proplachování dusíkem → atmosféra (po údržbě v opačném pořadí). Musí být zajištěna bezpečnost, aby se zabránilo kontaminaci vzduchem, kyslíkem nebo jinými plyny. Ředění má dva účely. Jedním je řízení rychlosti oxidace filmu tepelného oxidu, jak to vyžaduje proces zřeďovací oxidace. Druhým je snížení koncentrace výfukových plynů ze zařízení, aby byla zajištěna bezpečnost. Například ředění výfukových plynů SiH4 a vodíkových slitin snižuje koncentraci výfukových plynů na spodní hranici výbušnosti, aby byla zajištěna bezpečnost. Základní plyny se typicky používají jako základní plyny v difuzních pecích. Základní plyny se také používají k úpravě koncentrace plynových lahví, například smícháním SiH4 s 20% dusíkem. Inspekce těsnosti se také používají ke kontrole těsnosti potrubí a C/C systémů v zařízeních pro tlakování dusíku.

 

Technologie ohřevu Xida: Řešení bezpečnostního dilematu zpracování polovodičových odpadních plynů, zajištění kontinuity výroby a bezpečnosti zařízení

Výroba polovodičů vytváří velké množství odpadních plynů, z nichž mnohé jsou korozivní, samozápalné nebo potenciálně výbušné, když jsou vystaveny vzduchu. Obvykle se tyto plyny ředí dusíkem (N2) v raných fázích čištění odpadních plynů, aby se zajistilo, že koncentrace jsou pod spodní mezí výbušnosti nebo se sníží korozní účinky.
Smíchání chladnějšího dusíku s odpadním plynem však urychluje kondenzaci, a když se hromadí usazeniny, mohou vést k neplánovaným odstávkám. Ohřev dusíku je lepší varianta, ale pouze v případě, že do systému nejsou zaváděny nové úniky dusíku. Xida Heating Technology toho dosahuje, což znamená, že výrobci polovodičů již nemusí vyrovnávat bezpečnostní obavy s potenciálními prostoji způsobenými zablokováním výfukového systému.

• Prevence úniků snižuje riziko výbuchu.
• Prevence kondenzace snižuje prostoje při čištění.
• Prevence koroze na topných zařízeních, snížení rizika poruchy zařízení.
• Aktualizace procesu zvyšují vzdálenost, kterou urazí zahřátý plyn, aby byla zajištěna konzistentní teplota potrubí na dlouhé vzdálenosti.
• Struktura je aktualizována, aby se snížila celková spotřeba energie a šetřila elektřina.